1、通过实验表明，远程校准系统可以提高校准机构的工作效率，为各企事业单位的计量器具送检节省了大量的时间。2、提出了用于提高X射线光刻对准系统自动对准效率和对准精度的图像边缘增强技术，并进行了数值分析